一、徠卡DM3XL顯微鏡參數

 

光學系統	Leica無限遠校正光學系統
照明裝置	入射光/透射光
物鏡轉盤	5xBF/DF M32、6xBF M25和7xBF M25物鏡轉盤
載物臺	150mmx150mm，適用于6"樣品的晶片夾，適用于大塊扁平樣品的金屬板，行程30mm
觀察筒	雙目觀察筒/三目觀察筒/可傾斜觀察筒
物鏡	5x、10x、20x高反差平場消色差EPI物鏡，2.5x-100x平場消色差EPI物鏡， 1.25x-100x平場半復消色差物鏡，0.7x宏觀50x、100x、150x平場復消色差物鏡
目鏡	10倍視場直徑25mm
選配裝置	選配放大倍率調節器(1x、1.5x、2x)，選配測量載物臺，適用于x、y和z向測量

二、徠卡DM3XL顯微鏡簡介

 

快速檢測，快速響應

微電子和半導體用檢驗系統DM3 XL

在微電子和半導體行業中，檢驗、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關重要。檢測缺陷的速度越快，您做出響應的速度也就越快。

DM3 XL檢驗系統憑借大視場幫助您的團隊更快地識別缺陷，提高您的收益率。充分利用獨特的宏觀物鏡，視場寬敞30%。

徠卡微電子檢驗顯微鏡DM3 XL結構圖

 

三、產品特點 Infocation

 

1、更多細節

看到更多細節意味著工作更高效。為快速掃描達到6"的大組件，DM3 XL提供獨特的宏觀物鏡。利用0.7x放大倍率，它可以即刻采集35.7mm的視場–比其他常規掃描物鏡寬敞30%，在宏觀物鏡下，缺陷無所遁形

 

2、LED照明

DM3 XL針對所有相襯觀察方法使用LED照明。LED照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級下提供真彩色成像。在所有亮度等級下實現真彩色成像,自由調節,無需更換燈泡–無停機時間,可復制的結果,由于LED使用壽命長，耗電量低，因此還具有巨大的成本節約潛力。

 

3、種類豐富的載物臺

無論您想要檢驗的樣品是哪種類型，尺寸如何，均有種類豐富的載物臺插件供您選擇：載物臺尺寸：150mmx150mm,載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座,快速的粗略或精準載物臺定位

 

四、徠卡DM3XL顯微鏡市場價格及銷售商